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Filtres à gaz en ligne, Wafergard® II F Micro

Fournisseur: ENTEGRIS
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Filtres à gaz en ligne, Wafergard® II F Micro
Filtres Filtres à gaz
Recommandé pour les gaz inertes et réactifs, ces filtres présentent une excellente compatibilité avec toutes les classes de gaz de fabrication de semi-conducteurs. Leur diamètre compact permet une installation facile dans les armoires et les panneaux gaz exigus.

  • Filtration supérieure des particules pour filtration des systèmes de gaz haute pureté
  • La faible chute de pression réduit le risque de condensation dans les gaz à faible pression de vapeur
  • Fabriqués, soudés et testés en salles blanches
  • Les membranes en PTFE permettent une filtration de grande efficacité

Élément filtrant : membrane en PTFE hydrophobe renforcée par une structure moulée en PTFE PFA ; boîtier : acier inoxydable VAR 316L poli par voie électrolytique

Applications : applications à base d'ozone (gaz), armoires gaz, systèmes de distribution de gaz ultra-pur, panneaux gaz, outils de processus internes.

Propreté des particules en aval : moins de 0,03 particules/litre (<1 particule/0,028 m³) supérieure à 0,01 μm

Propreté des composés volatils en aval : <10 ppb d'humidité
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