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Filtres à gaz en ligne, Wafergard® III NF Micro

Fournisseur: ENTEGRIS
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Filtres à gaz en ligne, Wafergard® III NF Micro
Filtres Filtres à gaz
La membrane filtrante en nickel brevetée de ces filtres à gaz en ligne offre une résistance supérieure à la corrosion et une excellente compatibilité avec les gaz inertes et réactifs. En revanche, elle n'est pas recommandée pour une utilisation avec CO, O₃ et des gaz d'hydrure dopants en faible quantité.

  • Filtration supérieure des particules pour filtration des systèmes de gaz haute pureté
  • Le boîtier évite le dégazage en minimisant la zone de soudure

Élément de filtre : membrane en nickel fritté brevetée ; boîtier : acier inoxydable F20 , poli par voie électrolytique

Applications : conduites de gaz ultra-pur, applications à pression dynamique et haute température, construction de nouvelle fab, gaz inertes et réactifs.

Propreté des particules en aval : moins de 0,03 particules/litre (<1 particule/0,028 m³) supérieure à 0,01 μm

Propreté des composés volatils en aval : le dégazage de composés volatils d'H₂O, O₂ et THC est en dessous des limites détectables (par RGA et FID à température ambiante)
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